视觉技术

扫描探针显微镜

石鑫华机器视觉网：扫描探针显微镜（Scanning probe microscopy，SPM）是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称。其影像分辨率主要取决于探针的大小〔通常在纳米的范围〕。扫描隧道显微镜是第一个被发明的扫描探针显微镜〔1981年〕。

种类

AFM, 原子力显微镜

• 接触式

• 非接触式

• 动态接触式

EFM, 静电力显微镜

KPFM,开尔文探针力显微镜

MFM,磁力显微镜

MRFM,磁共振力显微镜

NSOM,近场光学扫描显微镜;SNOM,扫描近场光学显微镜

PSTM,光子扫描隧道显微镜

SCM,电容扫描显微镜

SGM,门扫描显微镜

SThM,热扫描显微镜

STM, 扫描隧道显微镜

SVM, 扫描电压显微镜

厂商

俄罗斯NT-MDT公司

美国维易科（Veeco）精密仪器有限公司